美國(guó)AE公司旗下的Sekidenko是溫度計(jì)品牌,包括光纖溫度計(jì)、快速高溫計(jì)、發(fā)射率計(jì)和溫度控制儀器等。Sekidenko高溫計(jì)用于電漿輔助化學(xué)氣相沈積(PECVD)、低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)、物理氣相沉積(PVD)和金屬刻蝕。由于 OR400T 具有緊湊型設(shè)計(jì),因此能夠輕松整合以滿足多種工藝應(yīng)用的特殊要求。
Sekidenko MXE高溫計(jì)兼具速度和精度,實(shí)現(xiàn)高要求應(yīng)用下的準(zhǔn)確、非接觸和可重復(fù)測(cè)量。其高速(高達(dá)10kHz)的性能特點(diǎn),適用于不斷移動(dòng)的被測(cè)量物,例如旋轉(zhuǎn)基座。它還特別適用于動(dòng)態(tài)工藝,包括激光類處理或快速退火。Sekidenko MXE設(shè)計(jì)緊湊,易于集成和靈活...
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